




氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展
經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
(1)便攜式:近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
(4)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來(lái)達(dá)到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴(kuò)散檢漏方式,實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理
漏率的溫度修正
標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來(lái)計(jì)算,并在測(cè)試結(jié)果中加以說(shuō)明,修正方法如下:
方法一: 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值;
方法二: 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。
用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高;它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價(jià)格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?,由某些原因引起本底的波?dòng),亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái),靈敏度高。
2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4),易于穿過(guò)漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會(huì)污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣,它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開(kāi),定標(biāo)找氦峰時(shí),不易受其他離子的干擾,因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求,易于加工。同時(shí),分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過(guò),提高了儀器靈敏度。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的主要及時(shí)指標(biāo)。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn),另一方面在油擴(kuò)散泵中,由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車(chē)空調(diào)的應(yīng)用二
汽車(chē)空調(diào)兩器檢測(cè)要求
1.1 空調(diào)兩器實(shí)際工況
1.空調(diào)兩器工作介質(zhì):氟利昂或者碳?xì)浠衔镒鳛橹评鋭┕ぷ饔谄?chē)空調(diào)內(nèi)部,目前比較流行使用R134a作為汽車(chē)空調(diào)的制冷劑。
2.壓力范圍:不同規(guī)格的空調(diào)兩器工作范圍在2.0~3.5MPa之間,正常工作壓力在0.8~2.0MPa之間。注:特殊情況除外。
3.氣密性要求:對(duì)于兩器產(chǎn)品,充注一定壓力R134a制冷劑,泄露量小于2克/年。
4. 耐壓要求:對(duì)產(chǎn)品加壓到實(shí)驗(yàn)壓力,保壓一段時(shí)間,降到常壓,經(jīng)檢查無(wú)泄漏和異常變形。
1.2 空調(diào)兩器氦檢漏基本要求
1.耐壓測(cè)試要求:一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會(huì)充注一定壓力(一般不超過(guò)3.5MPa)的高純氮?dú)饣蛘吒稍锏膲嚎s空氣,對(duì)工件作耐壓測(cè)試,如果不出現(xiàn)明顯變形及大漏,再執(zhí)行氦檢測(cè)工藝。
2.氦檢測(cè)精度要求:由于不同生產(chǎn)企業(yè)對(duì)產(chǎn)品的檢測(cè)要求不盡相同,但一般都會(huì)遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),或比行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求稍高。通?!皟善鳌睓z測(cè)標(biāo)準(zhǔn)不會(huì)超過(guò)1克/年。
3.檢測(cè)節(jié)拍要求:據(jù)調(diào)查一般的兩器生產(chǎn)廠家年產(chǎn)量都會(huì)在十萬(wàn)只以上,要實(shí)現(xiàn)所有產(chǎn)品全部使用氦檢測(cè),就要求氦檢測(cè)節(jié)拍越快越好。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng),針對(duì)冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件,針對(duì)蒸發(fā)器檢漏可達(dá)20秒每件;
4.氦氣回收要求:氦檢漏系統(tǒng)使用氦氣作為示蹤氣體,由于氦氣比較貴重,如果直接排放,必然導(dǎo)致檢測(cè)成本的大幅增加。因此,一般廠家都會(huì)要求氦氣可回收,即循環(huán)利用。氦檢系統(tǒng),氦氣回收率可達(dá)95%以上。
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